I. Disposiciones generales. MINISTERIO DE CIENCIA, INNOVACIÓN Y UNIVERSIDADES. Subvenciones. (BOE-A-2023-25767)
Real Decreto 1131/2023, de 19 de diciembre, por el que se regula la concesión directa de diversas subvenciones para el fortalecimiento de las capacidades, infraestructuras y equipamiento de salas blancas de micro y nanofabricación, en el marco del Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia.
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BOLETÍN OFICIAL DEL ESTADO
Miércoles 20 de diciembre de 2023
Sec. I. Pág. 168129
En particular, el objeto de la subvención para este centro se destinará para la
actualización de equipamiento de micro y nanofabricación, de la línea de montaje y
empaquetado y de las capacidades de caracterización de muestras, que supondrá un
impulso decisivo en la capacidad de fabricación en materiales y dispositivos fotónicos y
en la realización de procesos de micro/nanofabricación en diversos sectores económicos
con múltiples aplicaciones.
Las inversiones contempladas en el Plan Estratégico 2021-2024 de la ICTS
distribuida MICRONANOFABS, tienen como uno de sus objetivos fundamentales, ya
iniciado en el anterior Plan 2017-2020, el de ampliar la línea de NanoFabricación del
NTC (en adelante, NF-NTC) a obleas de 200 mm, de esta forma, se puede garantizar la
total compatibilidad con las infraestructuras de micro-nanofabricación líderes Europeas y
seguir estrategias alineadas con ellas para participar en los procesos de Oblea
MultiProyecto (multi project wafer, MWP), estrategia para proporcionar servicios de
(pre-)foundry a usuarios externos.
Gracias a estas inversiones, que permitirán ejecutar una amplia gama de estructuras
diferentes dentro de un dispositivo fotónico, la sala blanca de NF-NTC podrá ofrecer un
nuevo servicio bajo el llamado esquema de «creación rápida de prototipos», requerido
principalmente por PYMES y centros de investigación líderes europeos. Cabe destacar,
que las nuevas capacidades con las que se dotará este centro serán únicas en España,
con lo que se podrá atender a demandas tecnológicas actualmente no cubiertas en
nuestro país.
Más concretamente, el nodo NF-NTC ha desarrollado y fabricado en sus
instalaciones dispositivos cuyas aplicaciones son tan diversas como: biosensado fotónico
para aplicaciones «lab-on-a-chip», procesado de datos a alta velocidad (> 100 Gb/s)
para interconexiones ópticas, estructuras fotónicas (nanoantenas, guías de onda lenta),
plasmónicas (metamateriales hiperbólicos) y optomecánicas (resonadores mecánicos de
GHz) así como de nuevos materiales (ITO, VO2, ZnO metales) en tecnología de silicio,
moduladores ópticos ultra-rápidos mediante la integración de óxidos metálicos de
transición en tecnología de silicio, nuevos dispositivos de procesado de información en
silicio (líneas de retardo y memorias ópticas, entre otros) usando interacción
optomecánica, biosensores «sin contacto» basados en enlaces ópticos inalámbricos y la
integración de biosensores plasmónicos ultrasensibles en tecnología integrada de silicio.
Para conseguir estos objetivos, se proponen los siguientes tres proyectos para
ampliar las capacidades de la sala blanca de NF-NTC en el periodo 2021-2024:
– PROYECTO.1: actualización de equipos de micro y nanofabricación.
– PROYECTO.2: modernización de línea de ensamblaje y empaquetado de chips
fotónicos.
– PROYECTO.3: mejora de las capacidades de caracterización de chips fotónicos.
El interés público y social de esta actuación se basa en la capacidad del NTC-UPV
gracias a su personal, experiencia, equipos e instalaciones que ofrece por un lado su
capacidad de fabricación en materiales y dispositivos fotónicos y por otro, la posibilidad
de realizar procesos de micro/nanofabricación a industrias de otros sectores económicos
donde las nanotecnologías permiten múltiples aplicaciones como telecomunicación,
defensa, sistemas radio-fibra, sensores, biofotónica, etc.
En segundo lugar, la Central de Tecnología del ISOM, adscrita a la Universidad
Politécnica de Madrid, destaca por el desarrollo de proyectos avanzados de
optoelectrónica y micro/nanotecnología. La subvención para este centro se destinará
para la actualización del equipamiento de micro y nanofabricación, del empaquetado y
«back-end» y del equipamiento de caracterización.
El objetivo de estas inversiones es doble, por un lado, reemplazar equipamiento
obsoleto con más de quince años de uso por equipos nuevos con mayor resolución y por
otro lado adquirir equipos singulares que permitan fabricar nuevos dispositivos
electrónicos y caracterizaciones más avanzadas que puedan dar lugar a nuevos
descubrimientos científicos en el ámbito de la optolectrónica.
cve: BOE-A-2023-25767
Verificable en https://www.boe.es
Núm. 303
Miércoles 20 de diciembre de 2023
Sec. I. Pág. 168129
En particular, el objeto de la subvención para este centro se destinará para la
actualización de equipamiento de micro y nanofabricación, de la línea de montaje y
empaquetado y de las capacidades de caracterización de muestras, que supondrá un
impulso decisivo en la capacidad de fabricación en materiales y dispositivos fotónicos y
en la realización de procesos de micro/nanofabricación en diversos sectores económicos
con múltiples aplicaciones.
Las inversiones contempladas en el Plan Estratégico 2021-2024 de la ICTS
distribuida MICRONANOFABS, tienen como uno de sus objetivos fundamentales, ya
iniciado en el anterior Plan 2017-2020, el de ampliar la línea de NanoFabricación del
NTC (en adelante, NF-NTC) a obleas de 200 mm, de esta forma, se puede garantizar la
total compatibilidad con las infraestructuras de micro-nanofabricación líderes Europeas y
seguir estrategias alineadas con ellas para participar en los procesos de Oblea
MultiProyecto (multi project wafer, MWP), estrategia para proporcionar servicios de
(pre-)foundry a usuarios externos.
Gracias a estas inversiones, que permitirán ejecutar una amplia gama de estructuras
diferentes dentro de un dispositivo fotónico, la sala blanca de NF-NTC podrá ofrecer un
nuevo servicio bajo el llamado esquema de «creación rápida de prototipos», requerido
principalmente por PYMES y centros de investigación líderes europeos. Cabe destacar,
que las nuevas capacidades con las que se dotará este centro serán únicas en España,
con lo que se podrá atender a demandas tecnológicas actualmente no cubiertas en
nuestro país.
Más concretamente, el nodo NF-NTC ha desarrollado y fabricado en sus
instalaciones dispositivos cuyas aplicaciones son tan diversas como: biosensado fotónico
para aplicaciones «lab-on-a-chip», procesado de datos a alta velocidad (> 100 Gb/s)
para interconexiones ópticas, estructuras fotónicas (nanoantenas, guías de onda lenta),
plasmónicas (metamateriales hiperbólicos) y optomecánicas (resonadores mecánicos de
GHz) así como de nuevos materiales (ITO, VO2, ZnO metales) en tecnología de silicio,
moduladores ópticos ultra-rápidos mediante la integración de óxidos metálicos de
transición en tecnología de silicio, nuevos dispositivos de procesado de información en
silicio (líneas de retardo y memorias ópticas, entre otros) usando interacción
optomecánica, biosensores «sin contacto» basados en enlaces ópticos inalámbricos y la
integración de biosensores plasmónicos ultrasensibles en tecnología integrada de silicio.
Para conseguir estos objetivos, se proponen los siguientes tres proyectos para
ampliar las capacidades de la sala blanca de NF-NTC en el periodo 2021-2024:
– PROYECTO.1: actualización de equipos de micro y nanofabricación.
– PROYECTO.2: modernización de línea de ensamblaje y empaquetado de chips
fotónicos.
– PROYECTO.3: mejora de las capacidades de caracterización de chips fotónicos.
El interés público y social de esta actuación se basa en la capacidad del NTC-UPV
gracias a su personal, experiencia, equipos e instalaciones que ofrece por un lado su
capacidad de fabricación en materiales y dispositivos fotónicos y por otro, la posibilidad
de realizar procesos de micro/nanofabricación a industrias de otros sectores económicos
donde las nanotecnologías permiten múltiples aplicaciones como telecomunicación,
defensa, sistemas radio-fibra, sensores, biofotónica, etc.
En segundo lugar, la Central de Tecnología del ISOM, adscrita a la Universidad
Politécnica de Madrid, destaca por el desarrollo de proyectos avanzados de
optoelectrónica y micro/nanotecnología. La subvención para este centro se destinará
para la actualización del equipamiento de micro y nanofabricación, del empaquetado y
«back-end» y del equipamiento de caracterización.
El objetivo de estas inversiones es doble, por un lado, reemplazar equipamiento
obsoleto con más de quince años de uso por equipos nuevos con mayor resolución y por
otro lado adquirir equipos singulares que permitan fabricar nuevos dispositivos
electrónicos y caracterizaciones más avanzadas que puedan dar lugar a nuevos
descubrimientos científicos en el ámbito de la optolectrónica.
cve: BOE-A-2023-25767
Verificable en https://www.boe.es
Núm. 303
