III. Otras disposiciones. MINISTERIO DE CIENCIA E INNOVACIÓN. Comunidad de Madrid. Convenio. (BOE-A-2022-19670)
Resolución de 18 de noviembre de 2022, de la Presidencia de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas, M.P., por la que se publica el Convenio con la Universidad Politécnica de Madrid, en materia de investigación sobre el SARS-CoV-2 y la enfermedad COVID-19, financiada por REACT-UE del Fondo Europeo de Desarrollo Regional, Proyecto SARSNO-CM.
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BOLETÍN OFICIAL DEL ESTADO
Núm. 284
Sábado 26 de noviembre de 2022
Sec. III. Pág. 161291
existen varias capas de silicio separadas por capas de aislante de óxido de silicio. Se
realizará una primera de etapa de litografía con haces de electrones para definir las
matrices con los microdiscos de radio entre 1 y 5 μm y sus correspondientes guías de
silicio para acceder a ellos. La resina necesaria para la fabricación de estos microdiscos
tendrá que ser capaz de soportar diversos ataques reactivos para poder liberar las
distintas capas de silicio. Posteriormente se realizará ataque seco sobre el silicio
mediante iones reactivos (RIE) que permitirá eliminar el silicio sobrante y a continuación
un ataque húmedo para realizar los pedestales del material aislante óxido de silicio. A
continuación, se protegerán las paredes de la estructura del microdisco de silicio-oxido
de silicio y se volverá a realizar nuevamente otro ataque seco y posteriormente húmedo
para obtener una nueva estructura de microdisco silicio-oxido.
3. Caracterización de los dispositivos fabricados en Sala Blanca. Todos los
dispositivos sensores tanto de microdiscos individuales como de microdiscos acoplados
se caracterizarán mediante dos técnicas estructurales: Microscopía electrónica (SEM) y
Microscopía por fuerzas atómicas (AFM). El microscopio electrónico permitirá obtener
imágenes en dos dimensiones de las distintas fases de fabricación de los dispositivos
sensores. Así se podrá observar y comprobar que los dispositivos fabricados
corresponden con las especificaciones de diseño del CSIC. Mediante un giro a 90 grados
también se podrá observar la estructura de capas en los sensores de microdiscos
acoplados. Además, el SEM servirá para detectar posibles fallos en la fabricación de los
dispositivos y poder corregirlos.
Por otra parte, el microscopio de fuerzas atómicas permitirá realizar imágenes en tres
dimensiones de los sensores de microdiscos y de las nanopartículas de silica
depositadas sobre ellos de forma muy precisa. El AFM permitirá evaluar la rugosidad en
la superficie de los sensores y cuantificar en un primer momento todas las
nanopartículas depositadas sobre los sensores y posteriormente cuantificar las partículas
virales del SARS-CoV-2 inactivadas proporcionadas por el Departamento de
Microbiología del Hospital Universitario La Paz.
Compromisos del CSIC en torno al proyecto, a través del IMN-CNM:
1. Diseño de los sensores. Los nanosensores consistirán en una serie de
nanodiscos acoplados mecánicamente por pedestales. Se utilizarán dispositivos que
incluyan desde 2 a 5 nanodiscos. Los nanodiscos estarán hechos de silicio, un material
que posee excelentes propiedades ópticas en el infrarrojo cercano. Los pedestales serán
de óxido de silicio, y tendrán un diámetro aproximado de 400 nm y una altura que variará
entre 600 nm y 2 nm. Sus dimensiones serán de entre 1 y 5 µm de radio, y de entre 100
y 350 nm de espesor. Se harán simulaciones por elementos finitos para asegurar que los
dispositivos cumplen los siguientes requisitos: i) Los nanodiscos poseerán modos ópticos
en el rango del infrarrojo cercano con factores de calidad superiores a 105. ii) Los
nanodiscos poseerán múltiples modos mecánicos detectables a frecuencias superiores
al GHz, con factores de calidad superiores a 103 en aire. Como alternativa, también se
propondrá la fabricación de matrices de discos individuales de tamaño variable en un
mismo chip. Las dimensiones de estos discos individuales serán similares a las
mencionadas previamente.
2. Actualización del sistema experimental. El sistema experimental consta de tres
etapas. La primera de ellas consiste en una campana con atmosfera controlada, en la
que se difunden analitos por medio de la técnica de electrospray. La segunda etapa
transfiere los analitos hacia los nanosensores, por succión, ya que estos se encuentran
en vacío, en la tercera etapa, la de detección. En esta etapa, se monitorizan los
espectros mecánicos de los nanosensores al tiempo que los analitos se adsorben sobre
ellos. La detección de los modos mecánicos de los nanosensores se basa en el uso de
laseres infrarrojos sintonizables. Actualmente, el sistema permite detectar resonancias
mecánicas de los nanosensores hasta 3 GHz. Lograr detectar las resonancias
mecánicas de partículas virales de SARS-CoV-2 exige aumentar este rango de
cve: BOE-A-2022-19670
Verificable en https://www.boe.es
2.
Núm. 284
Sábado 26 de noviembre de 2022
Sec. III. Pág. 161291
existen varias capas de silicio separadas por capas de aislante de óxido de silicio. Se
realizará una primera de etapa de litografía con haces de electrones para definir las
matrices con los microdiscos de radio entre 1 y 5 μm y sus correspondientes guías de
silicio para acceder a ellos. La resina necesaria para la fabricación de estos microdiscos
tendrá que ser capaz de soportar diversos ataques reactivos para poder liberar las
distintas capas de silicio. Posteriormente se realizará ataque seco sobre el silicio
mediante iones reactivos (RIE) que permitirá eliminar el silicio sobrante y a continuación
un ataque húmedo para realizar los pedestales del material aislante óxido de silicio. A
continuación, se protegerán las paredes de la estructura del microdisco de silicio-oxido
de silicio y se volverá a realizar nuevamente otro ataque seco y posteriormente húmedo
para obtener una nueva estructura de microdisco silicio-oxido.
3. Caracterización de los dispositivos fabricados en Sala Blanca. Todos los
dispositivos sensores tanto de microdiscos individuales como de microdiscos acoplados
se caracterizarán mediante dos técnicas estructurales: Microscopía electrónica (SEM) y
Microscopía por fuerzas atómicas (AFM). El microscopio electrónico permitirá obtener
imágenes en dos dimensiones de las distintas fases de fabricación de los dispositivos
sensores. Así se podrá observar y comprobar que los dispositivos fabricados
corresponden con las especificaciones de diseño del CSIC. Mediante un giro a 90 grados
también se podrá observar la estructura de capas en los sensores de microdiscos
acoplados. Además, el SEM servirá para detectar posibles fallos en la fabricación de los
dispositivos y poder corregirlos.
Por otra parte, el microscopio de fuerzas atómicas permitirá realizar imágenes en tres
dimensiones de los sensores de microdiscos y de las nanopartículas de silica
depositadas sobre ellos de forma muy precisa. El AFM permitirá evaluar la rugosidad en
la superficie de los sensores y cuantificar en un primer momento todas las
nanopartículas depositadas sobre los sensores y posteriormente cuantificar las partículas
virales del SARS-CoV-2 inactivadas proporcionadas por el Departamento de
Microbiología del Hospital Universitario La Paz.
Compromisos del CSIC en torno al proyecto, a través del IMN-CNM:
1. Diseño de los sensores. Los nanosensores consistirán en una serie de
nanodiscos acoplados mecánicamente por pedestales. Se utilizarán dispositivos que
incluyan desde 2 a 5 nanodiscos. Los nanodiscos estarán hechos de silicio, un material
que posee excelentes propiedades ópticas en el infrarrojo cercano. Los pedestales serán
de óxido de silicio, y tendrán un diámetro aproximado de 400 nm y una altura que variará
entre 600 nm y 2 nm. Sus dimensiones serán de entre 1 y 5 µm de radio, y de entre 100
y 350 nm de espesor. Se harán simulaciones por elementos finitos para asegurar que los
dispositivos cumplen los siguientes requisitos: i) Los nanodiscos poseerán modos ópticos
en el rango del infrarrojo cercano con factores de calidad superiores a 105. ii) Los
nanodiscos poseerán múltiples modos mecánicos detectables a frecuencias superiores
al GHz, con factores de calidad superiores a 103 en aire. Como alternativa, también se
propondrá la fabricación de matrices de discos individuales de tamaño variable en un
mismo chip. Las dimensiones de estos discos individuales serán similares a las
mencionadas previamente.
2. Actualización del sistema experimental. El sistema experimental consta de tres
etapas. La primera de ellas consiste en una campana con atmosfera controlada, en la
que se difunden analitos por medio de la técnica de electrospray. La segunda etapa
transfiere los analitos hacia los nanosensores, por succión, ya que estos se encuentran
en vacío, en la tercera etapa, la de detección. En esta etapa, se monitorizan los
espectros mecánicos de los nanosensores al tiempo que los analitos se adsorben sobre
ellos. La detección de los modos mecánicos de los nanosensores se basa en el uso de
laseres infrarrojos sintonizables. Actualmente, el sistema permite detectar resonancias
mecánicas de los nanosensores hasta 3 GHz. Lograr detectar las resonancias
mecánicas de partículas virales de SARS-CoV-2 exige aumentar este rango de
cve: BOE-A-2022-19670
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